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CMP 以模擬為基礎的虛擬填充最佳化
CMP 以模擬為基礎的虛擬填充最佳化
由 CMP 模擬驅動的虛擬填充最佳化方法，可達成先進技術節點中嚴格的平整度要求，並利用 Calibre CMPAnalyzer、Calibre CMP ModelBuilder 及 Calibre YieldEnhancer SmartFill 工具測試此方法。該方法使用 CMP 模擬設定虛擬填充目標，並選擇能為指定佈局提供最佳平整度的虛擬填充圖案。