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說明資料

Tanner MEMS 設計流程

Tanner L-Edit MEMS 是設計流程的核心部分,此先進的 Layout 編輯器具備曲線多邊形及全角度 Boolean 運算等多種適用於 MEMS 的功能。L-Edit MEMS 與其他專為機械工程設計的 CAD 工具不同,它可以顯示光罩的clear 區域和 dark 區域。因此,您可以快速地繪製並編輯光罩,然後輕鬆地檢視不同組合的光罩,以檢查光罩之間的重疊與交互作用。透過傑出的曲線支援、即時 DRC 檢測、Boolean 運算、物件鎖點與對齊等強大功能,您可以提升工作效率,節省時間與成本。L-Edit MEMS 可對任意形狀及曲率的多邊形,執行複雜的 Boolean 運算與衍生層運算,以此提升精確度。

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