白皮书
基于 CMP 仿真的冗余金属填充优化
CMP 仿真驱动的冗余金属填充优化方法
CMP 工序的建模提供了机会对 CMP 后轮廓进行仿真，并将该数据用于冗余金属填充优化。CMP 仿真驱动的冗余金属填充优化方法使用 Calibre CMPAnalyzer、Calibre CMP ModelBuilder 和 Calibre YieldEnhancer SmartFill 工具测试该方法可以减少查找和修复平整度热点所需的时间和资源，同时确保使用理想填充解决方案。