Tanner MEMS 设计流程

该设计流程的核心部分是 Tanner L-Edit MEMS，它是一种高级版图编辑器，具有曲面多边形和任意角度布尔运算等能够支持 MEMS 版图设计的功能。与其他专为机械工程而设计的 CAD 工具不同，L-Edit MEMS 可显示掩膜的 Clear 和 Dark 区域。因此，您可以快速绘制和编辑掩膜，然后轻松查看不同的掩膜组合，以检查它们的重叠和交互情况。利用众多强大的功能，例如出色的曲线支持、交互式 DRC、布尔运算、对象捕捉和对齐，您可以更高效地开展工作，以节省时间和成本。L-Edit MEMS 支持对任意形状、任意曲线的多边形执行复杂的布尔运算和派生层操作，提供了更高的精度。