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백서

진단 기반 수율 분석을 통해 시스템적 수율 제한 요소를 극복하는 방법

진단 기반 수율 분석(Diagnosis-Driven Yield Analysis, DDYA)은 생산 테스트 결과, 볼륨 스캔 진단과 통계 분석을 통해 IC 칩의 수율 손실 원인을 알아내는 기술입니다. 새로운 공정 프로세스의 수율을 끌어올리고 기존 프로세스의 수율을 개선하거나 자동차 제조용 IC의 테스트 품질 기준을 만족시키는 데 유용한 특징이 있습니다. 효과적인 수율 분석 플로우를 정립하려면 Tessent Diagnosis의 고도로 정확한 볼륨 스캔 진단과 Tessent™ YieldInsight™의 통계 분석과 데이터 시각화를 조합하면 됩니다. 볼륨 스캔 진단을 바탕으로 수율 분석을 적용하면 공정 프로세스 데이터에만 의존하기보다 설계 레이아웃 정보와 고장 데이터를 포함한 결과를 도출하여 수율 손실의 근본 원인을 알아내는 데 걸리는 사이클 타임을 75-90%까지 단축할 수 있습니다.

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