백서

신속 정확한 EUV 마스크 플로우

Calibre RET 플랫폼

대량 제조 시 광학 리소그래피에서 EUV 사용으로의 전환은 벌써 오래전부터 전망되어오던 사실이지만, 이제 드디어 실현되기 시작했습니다. 아직 여러 가지 문제점을 해결하고 있기는 하지만, 제조 분야에서 EUV를 가로막지 않는 한 가지 문제가 있다면 바로 분해능 향상 기술(Resolution Enhancement Technology, RET) 플로우라고 할 수 있겠습니다. EUV와 함께 적용하는 RET에는 분명 몇 가지 고유한 측면이 있지만, 존재하는 난관들은 Calibre의 EUV 제품 및 기술로 완벽하게 해결되었습니다. 이 글은 EUV용 RET의 기본을 설명한 것입니다.

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